不同衬底上VO2薄膜的微观结构和光学性能研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年第5期
论文作者：刘小杰 涂铭旌 张月 黄婉霞 颜家振
关键词：云母衬底; VO2薄膜; 热致相变; 结晶取向;
摘 要：以云母(001)晶面和玻璃片为衬底,采用溶胶-凝胶法在其表面制VO2薄膜.利用XRD,AFM,FTIR等手段分析了不同衬底上薄膜的微观结构和光学性能.结果表明,云母表面VO22薄膜常温下呈单一的(011)取向,而玻璃表面VO2薄膜呈现(100)和(011)2种取向,单一(011)晶体取向的OV2薄膜表现出更好的光学开关性能.还分析了VO2薄膜的晶体取向对其光学性能的影响.
刘小杰1，涂铭旌1，张月1，黄婉霞1，颜家振1
(1.四川大学,四川,成都,610064)
摘要:以云母(001)晶面和玻璃片为衬底,采用溶胶-凝胶法在其表面制VO2薄膜.利用XRD,AFM,FTIR等手段分析了不同衬底上薄膜的微观结构和光学性能.结果表明,云母表面VO22薄膜常温下呈单一的(011)取向,而玻璃表面VO2薄膜呈现(100)和(011)2种取向,单一(011)晶体取向的OV2薄膜表现出更好的光学开关性能.还分析了VO2薄膜的晶体取向对其光学性能的影响.
关键词:云母衬底; VO2薄膜; 热致相变; 结晶取向;
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