简介概要

0603型钽电容器氧化膜的生长工艺

来源期刊:稀有金属材料与工程2013年第1期

论文作者:徐云飞 李春光 安涛 吴华

文章页码:190 - 193

关键词:0603型钽电容器;形成液;形成液浓度;升流密度,恒压时间;

摘    要:研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺。分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数。最后试验得出使用0.2%(体积分数)硝酸溶液以40mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036μA。

详情信息展示

0603型钽电容器氧化膜的生长工艺

徐云飞1,李春光1,2,安涛1,吴华2

1. 西安理工大学2. 宁夏星日电子有限公司

摘 要:研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺。分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数。最后试验得出使用0.2%(体积分数)硝酸溶液以40mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036μA。

关键词:0603型钽电容器;形成液;形成液浓度;升流密度,恒压时间;

<上一页 1 下一页 >

有色金属在线官网  |   会议  |   在线投稿  |   购买纸书  |   科技图书馆

中南大学出版社 技术支持 版权声明   电话:0731-88830515 88830516   传真:0731-88710482   Email:administrator@cnnmol.com

互联网出版许可证:(署)网出证(京)字第342号   京ICP备17050991号-6      京公网安备11010802042557号