0603型钽电容器氧化膜的生长工艺
来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第1期
论文作者：徐云飞 李春光 安涛 吴华
文章页码：190 - 193
关键词：0603型钽电容器;形成液;形成液浓度;升流密度,恒压时间;
摘 要：研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺。分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数。最后试验得出使用0.2%(体积分数)硝酸溶液以40mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036μA。
徐云飞1，李春光1,2，安涛1，吴华2
1. 西安理工大学2. 宁夏星日电子有限公司
摘 要：研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺。分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数。最后试验得出使用0.2%(体积分数)硝酸溶液以40mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036μA。
关键词：0603型钽电容器;形成液;形成液浓度;升流密度,恒压时间;
