U表面循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2003年第1期
论文作者：张永彬 吕学超 刘柯钊 鲜晓斌
关键词：Ti镀层; 循环Ar+轰击; 耐湿热腐蚀性能; 组织结构;
摘 要：用设计的循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀法在U表面上镀Ti,并采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪和湿热加速腐蚀实验,研究了其表面、剖面形貌、镀层的组成与结构、膜基界面特征,以及耐湿热腐蚀性能.结果表明,U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti层结晶致密、晶粒细化,镀层由表及里分别由TiO2/TiO/Ti构成,镀层厚度≥4μm时、其试样的耐湿热腐蚀性能较之金属U来讲有较大程度的提高.
张永彬1，吕学超1，刘柯钊1，鲜晓斌1
(1.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900)
摘要:用设计的循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀法在U表面上镀Ti,并采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪和湿热加速腐蚀实验,研究了其表面、剖面形貌、镀层的组成与结构、膜基界面特征,以及耐湿热腐蚀性能.结果表明,U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti层结晶致密、晶粒细化,镀层由表及里分别由TiO2/TiO/Ti构成,镀层厚度≥4μm时、其试样的耐湿热腐蚀性能较之金属U来讲有较大程度的提高.
关键词:Ti镀层; 循环Ar+轰击; 耐湿热腐蚀性能; 组织结构;
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