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氮化铝薄膜结构和表面粗糙度的研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2000年第6期

论文作者：张富强许小红金志浩武海顺

关键词：氮化铝薄膜; 表面粗糙度; 结构;

摘要：采用直流磁控溅射的方法,在Si(111)基片上沉积AlN(100)面择优取向薄膜,研究了溅射功率对AlN薄膜结构及表面粗糙度的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,沉积速率增大,但薄膜结构择优取向度变差,表面粗糙度增大,这说明要制备择优取向良好、表面粗糙度小的AlN薄膜,需选择较小的溅射功率.

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张富强¹，许小红²，金志浩²，武海顺¹

(1.山西师范大学,临汾,041004;
2.西安交通大学,西安,710049)

摘要:采用直流磁控溅射的方法,在Si(111)基片上沉积AlN(100)面择优取向薄膜,研究了溅射功率对AlN薄膜结构及表面粗糙度的影响.结果表明,随着溅射功率的增加,沉积速率增大,但薄膜结构择优取向度变差,表面粗糙度增大,这说明要制备择优取向良好、表面粗糙度小的AlN薄膜,需选择较小的溅射功率.

关键词:氮化铝薄膜; 表面粗糙度; 结构;

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