抛光液酸碱度对超光滑表面质量影响的研究
来源期刊：材料科学与工艺2009年第1期
论文作者：李宝贵 李成贵 刘一 杨辉
文章页码：36 - 39
关键词：酸碱度;超光滑表面;加工工艺;参数指标;
摘 要：为揭示抛光液酸碱度对超光滑表面的影响,采用浓度均为10%的酸性和碱性溶液对K9玻璃表面进行腐蚀.通过研究试件的粗糙度、硬度等参数发现不同酸碱度抛光液对试件腐蚀时间相同,但对试件表面质量影响不同.试验结果表明:抛光液酸碱度对超光滑表面质量的影响非常显著,进而提出抛光液酸碱度工艺参数指标:采用弱碱性抛光溶液更容易得到高质量的超光滑表面.
李宝贵1，李成贵1，刘一2，杨辉2
1. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院2. 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室
摘 要：为揭示抛光液酸碱度对超光滑表面的影响,采用浓度均为10%的酸性和碱性溶液对K9玻璃表面进行腐蚀.通过研究试件的粗糙度、硬度等参数发现不同酸碱度抛光液对试件腐蚀时间相同,但对试件表面质量影响不同.试验结果表明:抛光液酸碱度对超光滑表面质量的影响非常显著,进而提出抛光液酸碱度工艺参数指标:采用弱碱性抛光溶液更容易得到高质量的超光滑表面.
关键词：酸碱度;超光滑表面;加工工艺;参数指标;
