物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展
来源期刊:材料导报2011年第11期
论文作者:曹华伟 张程煜 乔生儒 曹晓雨
文章页码:25 - 29
关键词:TiAlN涂层;制备方法;晶体结构;硬度;高温抗氧化性;
摘 要:概述了物理气相沉积TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对TiAlN涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的TiAlN涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题。为进一步促进TiAlN涂层的应用,今后还需探索该涂层的制备方法,优化其制备工艺。多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向。
曹华伟,张程煜,乔生儒,曹晓雨
西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室
摘 要:概述了物理气相沉积TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对TiAlN涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的TiAlN涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题。为进一步促进TiAlN涂层的应用,今后还需探索该涂层的制备方法,优化其制备工艺。多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向。
关键词:TiAlN涂层;制备方法;晶体结构;硬度;高温抗氧化性;