基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究
来源期刊：机械设计与制造2008年第9期
论文作者：姚世焕 李蓓智 张家梁 闫如忠 李诗
文章页码：124 - 126
关键词：压电陶瓷;精密进给系统;迟滞特性;蠕变特性;闭环系统;
摘 要：压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用,但是它存在着迟滞、蠕变等特点,给压电陶瓷的陶瓷的控制带来了困难。该系统设计了基于信号处理及特殊算法的闭环控制系统,应用于对压电陶瓷致动器的控制,并且在此基础上建立实验系统。实验数据分析结果表明,定位精度稳定在±0.02μm,良好的解决了压电陶瓷的非线性特点,满足高精密加工技术的需求。
徐源，李蓓智，张家梁，闫如忠，李诗
摘 要：压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用,但是它存在着迟滞、蠕变等特点,给压电陶瓷的陶瓷的控制带来了困难。该系统设计了基于信号处理及特殊算法的闭环控制系统,应用于对压电陶瓷致动器的控制,并且在此基础上建立实验系统。实验数据分析结果表明,定位精度稳定在±0.02μm,良好的解决了压电陶瓷的非线性特点,满足高精密加工技术的需求。
关键词：压电陶瓷;精密进给系统;迟滞特性;蠕变特性;闭环系统;
