激光辐照对类金刚石薄膜改性及损伤研究
来源期刊:功能材料2006年第4期
论文作者:朱嘉琦 高巍 韩杰才
关键词:类金刚石; 激光损伤阈值; 激光损伤机理; 激光辐照;
摘 要:介绍了激光损伤的检测及损伤阈值的测量方法.讨论激光辐照对类金刚石结构和性质的影响规律.并论述不同工作参数的激光对类金刚石薄膜的激光破坏行为及其损伤阈值.在此基础上分析类金刚石薄膜激光损伤的机理.还从物理特性及制备技术方面着手,比较分析金刚石及类金刚石薄膜各自的优缺点和实际应用状况,并提出类金刚石薄膜的应用前景和有待进一步研究的问题.
朱嘉琦1,高巍1,韩杰才1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080)
摘要:介绍了激光损伤的检测及损伤阈值的测量方法.讨论激光辐照对类金刚石结构和性质的影响规律.并论述不同工作参数的激光对类金刚石薄膜的激光破坏行为及其损伤阈值.在此基础上分析类金刚石薄膜激光损伤的机理.还从物理特性及制备技术方面着手,比较分析金刚石及类金刚石薄膜各自的优缺点和实际应用状况,并提出类金刚石薄膜的应用前景和有待进一步研究的问题.
关键词:类金刚石; 激光损伤阈值; 激光损伤机理; 激光辐照;
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