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溶胶凝胶法制备ZnO:Ga作为电流扩散层的LED光电性能研究

来源期刊：功能材料与器件学报2012年第3期

论文作者：李倩王万晶李喜峰张建华吕建国

文章页码：238 - 242

关键词：溶胶凝胶;LED;GZO;

摘要：采用溶胶凝胶法制备了ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜,并用做GaN基LED的电流扩散层。研究表明,GZO薄膜为多晶薄膜,透光率大于80%,粗糙度为Ra 4.6nm,制备的LED的开启电压为2.4V,并成功的点亮LED芯片。

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李倩^1,2，王万晶¹，李喜峰^1,3，张建华¹，吕建国³

1. 上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室2. 上海大学材料科学与工程学院3. 浙江大学硅材料国家重点实验室

关键词：溶胶凝胶;LED;GZO;