HFCVD金刚石膜过程的气氛模拟与分析
来源期刊：无机材料学报2003年第1期
论文作者：廖源 戚学贵 王冠中 陈则韶 常超
关键词：热丝法化学气相沉积; 金刚石膜; 气相化学; 前驱基团;
摘 要：对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果与前人实验数据吻合.探讨了灯丝温度、碳源浓度和碳源种类等因素变化对衬底位置气相组成的影响.结果表明甲基是金刚石膜生长最主要的前驱基团,其作用远高于乙炔,而超平衡态原子氢的存在对金刚石膜的质量至关重要.
廖源1，戚学贵2，王冠中1，陈则韶2，常超1
(1.中国科学技术大学物理系,合肥,230026;
2.中国科学技术大学工程科学学院,合肥,230027)
摘要:对热丝法化学气相沉积金刚石膜过程的气氛进行了模拟与分析.使用GRI-Mech3.0甲烷燃烧过程C/H/O/N四元体系热化学反应机理和动力学数据,模拟并分析了HFCVD金刚石膜的C/H气相化学反应,通过对反应流的简单模拟得到了衬底位置气相组成,结果与前人实验数据吻合.探讨了灯丝温度、碳源浓度和碳源种类等因素变化对衬底位置气相组成的影响.结果表明甲基是金刚石膜生长最主要的前驱基团,其作用远高于乙炔,而超平衡态原子氢的存在对金刚石膜的质量至关重要.
关键词:热丝法化学气相沉积; 金刚石膜; 气相化学; 前驱基团;
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