化学气相沉积层的技术和应用
来源期刊：稀有金属与硬质合金1999年第1期
论文作者：阎洪
文章页码：3 - 5
关键词：化学气相沉积层;技术;应用;
摘 要：介绍了国内外化学气相沉积技术的研究进展，对化学气相沉积层的类型、性能和应用进行了详细的介绍，并展望了化学气相沉积法的发展趋势。
阎洪
昆明冶金研究院金属材料研究室
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