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机械科学的新边疆──微机电一体化技术

来源期刊：机械设计与制造1998年第5期

论文作者：刘强郑莹娜陈益民李定华

文章页码：3 - 5

关键词：微机电一体化;微／纳米技术;超微细加工;

摘要：微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。

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刘强，郑莹娜，陈益民，李定华

关键词：微机电一体化;微／纳米技术;超微细加工;