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化学气相沉积制备MoSi2涂层分析

来源期刊：材料导报2005年第7期

论文作者：李克智史波付前刚李贺军

关键词：化学气相沉积(CVD); MoSi2; 涂层; 碳/碳复合材料;

摘要：主要介绍了目前化学气相沉积(CVD)制备MoSi2涂层或薄膜的几种方法,从反应原理和沉积产物结构等方面分析了各种方法的特点,提出了这些方法在制备MoSi2涂层过程中所存在的问题,并讨论了CVD制备MoSi2涂层应用于碳/碳复合材料高温抗氧化保护的可行性.

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李克智¹，史波¹，付前刚¹，李贺军¹

(1.西北工业大学超高温复合材料国防重点实验室,西安,710072)

摘要:主要介绍了目前化学气相沉积(CVD)制备MoSi2涂层或薄膜的几种方法,从反应原理和沉积产物结构等方面分析了各种方法的特点,提出了这些方法在制备MoSi2涂层过程中所存在的问题,并讨论了CVD制备MoSi2涂层应用于碳/碳复合材料高温抗氧化保护的可行性.

关键词:化学气相沉积(CVD); MoSi2; 涂层; 碳/碳复合材料;

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