离子束强化在镀氮化钛薄膜中的应用
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)1991年第2期
论文作者：崔永植
文章页码：118 - 123
关键词：离子束强化;真空沉积镀;射频离子镀;
摘 要：系统地进行了离子束强化真空沉积镀、射频离子镀和离子束强化射频离子镀3种镀TiN薄膜的实验,并对不同方法制备的TiN薄膜进行了性能测试与组织结构分析。研究结果表明,离子束强化不仅有提高沉积速率,细化晶粒,促进晶体择优取向的作用,而且可改善薄膜的附着力与耐磨性。因此可推荐用于提高耐磨性为目的的TiN镀膜生产上。
崔永植
东北工学院表面加工技术研究所
摘 要：系统地进行了离子束强化真空沉积镀、射频离子镀和离子束强化射频离子镀3种镀TiN薄膜的实验,并对不同方法制备的TiN薄膜进行了性能测试与组织结构分析。研究结果表明,离子束强化不仅有提高沉积速率,细化晶粒,促进晶体择优取向的作用,而且可改善薄膜的附着力与耐磨性。因此可推荐用于提高耐磨性为目的的TiN镀膜生产上。
关键词：离子束强化;真空沉积镀;射频离子镀;
