金属基体上YSZ过渡层及YBCO薄膜结构与沉积条件的关系
来源期刊：稀有金属1998年第1期
论文作者：邵贝羚 刘安生 王敬 石东奇 袁冠森 王晓华
关键词：YBCO薄膜; YSZ过渡层; 微结构; 金属基体;
摘 要：研究了两种在金属基体 (Hastelloy-C) 上沉积的、以钇稳定的ZrO2 (YSZ) 为过渡层的YBa2Cu3O7-y薄膜结构, 并讨论了结构与沉积条件的关系. 当沉积速率低时, YSZ层致密、均匀, 存在织构取向, 且与基体连接良好; 而高速率沉积的YSZ层疏松, 与基体结合差. YBCO薄膜的结构和性能与沉积时的基体温度相关.
邵贝羚1，刘安生1，王敬1，石东奇1，袁冠森1，王晓华1
(1.北京有色金属研究总院,北京100088)
摘要:研究了两种在金属基体 (Hastelloy-C) 上沉积的、以钇稳定的ZrO2 (YSZ) 为过渡层的YBa2Cu3O7-y薄膜结构, 并讨论了结构与沉积条件的关系. 当沉积速率低时, YSZ层致密、均匀, 存在织构取向, 且与基体连接良好; 而高速率沉积的YSZ层疏松, 与基体结合差. YBCO薄膜的结构和性能与沉积时的基体温度相关.
关键词:YBCO薄膜; YSZ过渡层; 微结构; 金属基体;
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