Au/Ti/W/Ti与n-GaAs欧姆接触的特性研究
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第4期
论文作者：夏冠群 李冰寒 周健 刘文超
关键词：Au/Ti/W/Ti; 砷化镓; 欧姆接触;
摘 要：用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触,用传输线法对其比接触电阻进行了测试,并利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射图谱(XRD)对接触的微观结构进行了研究.结果表明该接触在700℃时比接触电阻为1.5×10-4Ω@cm2,快速合金化后呈现欧姆特性可能与接触界面处生成的TiAs相有关.
夏冠群1，李冰寒1，周健1，刘文超1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)
摘要:用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触,用传输线法对其比接触电阻进行了测试,并利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射图谱(XRD)对接触的微观结构进行了研究.结果表明该接触在700℃时比接触电阻为1.5×10-4Ω@cm2,快速合金化后呈现欧姆特性可能与接触界面处生成的TiAs相有关.
关键词:Au/Ti/W/Ti; 砷化镓; 欧姆接触;
【全文内容正在添加中】
