轮廓精度50nm金刚石车刀的研磨加工
来源期刊:超硬材料工程2008年第2期
论文作者:高野泰夫
文章页码:54 - 55
关键词:金刚石刀具;形状精度;超精密加工;金刚石研磨;
摘 要:探讨研磨加工机与研磨工艺,目的是提高超精密加工用金刚石车刀刀尖半径轮廓的研磨精度。超精密加工机的运动精度正在逐年提高,期待着支撑其加工精度根基的金刚石车刀的轮廓精度能得到改善。根据传统的金刚石加工方法,调查了晶面研磨方向与可加工性的关系,确定了研磨条件。结果,开发出新型研磨加工机,对于刀尖半径3.9μm的金刚石车刀,其轮廓精度48nm在有效角度130°的范围内得到了确认。
高野泰夫
摘 要:探讨研磨加工机与研磨工艺,目的是提高超精密加工用金刚石车刀刀尖半径轮廓的研磨精度。超精密加工机的运动精度正在逐年提高,期待着支撑其加工精度根基的金刚石车刀的轮廓精度能得到改善。根据传统的金刚石加工方法,调查了晶面研磨方向与可加工性的关系,确定了研磨条件。结果,开发出新型研磨加工机,对于刀尖半径3.9μm的金刚石车刀,其轮廓精度48nm在有效角度130°的范围内得到了确认。
关键词:金刚石刀具;形状精度;超精密加工;金刚石研磨;