基于静电力显微镜的绝缘体表面电荷微纳米尺度测量系统
来源期刊：绝缘材料2007年第2期
论文作者：王秀凤 韩立 赵慧斌
关键词：扫描探针显微镜; SPM; 绝缘材料; 表面电荷测量;
摘 要：基于静电力显微镜(EFM)设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统.该系统设有温度和湿度调节系统,可实现不同气体环境,并可模拟紫外照射功能.该系统为电介质表面电荷的研究提供了一种新的手段,为从微观尺度解释表面电荷的生成和行为特性提供了新的途径.
王秀凤1，韩立2，赵慧斌2
(1.清华大学物理系,北京,100084;
2.中国科学院电工研究所,北京,100080;
3.中国科学院研究生院,北京,100049)
摘要:基于静电力显微镜(EFM)设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统.该系统设有温度和湿度调节系统,可实现不同气体环境,并可模拟紫外照射功能.该系统为电介质表面电荷的研究提供了一种新的手段,为从微观尺度解释表面电荷的生成和行为特性提供了新的途径.
关键词:扫描探针显微镜; SPM; 绝缘材料; 表面电荷测量;
【全文内容正在添加中】
