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铝诱导非晶硅薄膜低温晶化及结构研究

来源期刊：功能材料2001年第4期

论文作者：王长安曾祥斌周雪梅赵伯芳饶瑞徐重阳

关键词：金属诱导; 非晶硅薄膜; 低温晶化; 多晶硅薄膜;

摘要：介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.

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王长安¹，曾祥斌¹，周雪梅¹，赵伯芳¹，饶瑞¹，徐重阳¹

(1.华中理工大学电子科学与技术系,)

摘要:介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.

关键词:金属诱导; 非晶硅薄膜; 低温晶化; 多晶硅薄膜;

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