用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构
来源期刊：理化检验-化学分册2003年第4期
论文作者：杨建华
关键词：掠面X射线衍射; X射线光电子能谱; 离子注入;
摘 要：采用由金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对Hl3钢进行了离子注入表面改性研究.借助掠面X射线衍射(GXRD)和X射线光电子能谱(XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态.研究发现,表面的含碳化钨层比含铁、钨氧化层要厚,离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在,铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现,而且各价态元素的原子比随深度变化.
杨建华1
(1.南通工学院,南通,226007)
摘要:采用由金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对Hl3钢进行了离子注入表面改性研究.借助掠面X射线衍射(GXRD)和X射线光电子能谱(XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态.研究发现,表面的含碳化钨层比含铁、钨氧化层要厚,离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在,铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现,而且各价态元素的原子比随深度变化.
关键词:掠面X射线衍射; X射线光电子能谱; 离子注入;
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