氮化硅粉体制备方法研究进展
来源期刊:耐火材料2020年第5期
论文作者:徐恩霞 谢宏旭 曹雨后
文章页码:457 - 460
关键词:氮化硅粉体;制备方法;研究现状;直接氮化法;碳热还原法;
摘 要:综述了氮化硅粉体的制备方法和国内外研究现状,并对目前大规模采用的硅粉直接氮化法和碳热还原二氧化硅法存在的问题进行了分析。
徐恩霞2,谢宏旭2,曹雨后2
2. 郑州大学高温功能材料河南省重点实验室
摘 要:综述了氮化硅粉体的制备方法和国内外研究现状,并对目前大规模采用的硅粉直接氮化法和碳热还原二氧化硅法存在的问题进行了分析。
关键词:氮化硅粉体;制备方法;研究现状;直接氮化法;碳热还原法;