大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用
来源期刊：无机材料学报2002年第2期
论文作者：季锡林 王兵 梅军 冉均国 李力
关键词：CVD金刚石厚膜; 电子辅助; 拉丝模具;
摘 要：采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸. SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.
季锡林1，王兵2，梅军1，冉均国2，李力1
(1.西南结构力学研究所,四川绵阳621900;
2.四川大学无机材料系,成都610065)
摘要:采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸. SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.
关键词:CVD金刚石厚膜; 电子辅助; 拉丝模具;
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