微型磁通门式磁敏感器(MEMSMag)
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：康春磊 杨建中 刘刚 田扬超 尤政
关键词：微机电系统(MEMS); 磁通门; 磁传感器; 传感器设计;
摘 要：基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点,在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用.本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理.从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征.并依据磁通门原理和各种微型磁通门式磁敏感器的结构特点,设计了一种两轴微型磁通门式磁敏感器.这种新型的磁敏感器具有对称结构、闭合磁路、差动形式、柔性连接等显著特点.
康春磊1，杨建中2，刘刚1，田扬超1，尤政2
(1.中国科学与技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026;
2.清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084)
摘要:基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点,在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用.本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理.从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征.并依据磁通门原理和各种微型磁通门式磁敏感器的结构特点,设计了一种两轴微型磁通门式磁敏感器.这种新型的磁敏感器具有对称结构、闭合磁路、差动形式、柔性连接等显著特点.
关键词:微机电系统(MEMS); 磁通门; 磁传感器; 传感器设计;
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