CVD法制备高纯钛的工艺优化

来源期刊：有色金属(冶炼部分)2014年第9期

论文作者：王睿 唐晓宁 陈肖虎 李纪伟 李明新

文章页码：23 - 25

关键词：CVD;卤化法;高纯钛;正交试验;

摘    要：采用正交试验研究了钛卤盐热裂解法生产高纯钛的工艺条件。结果表明,各因素对产率的影响程度依次为低温区(卤化源区)温度>基底截面直径>卤化剂用量>高温区(热裂解区)温度。优化后的工艺参数为:卤化剂用量600g左右、基底截面直径6mm、低温区和高温区温度分别控制在200~700℃和1 100~1 300℃。在最优条件下获得的产品经电子束熔炼后,纯度可以达到99.998%。