在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第11期
论文作者：蒋庄德 王海容 杨树明 赵则祥 朱强
关键词：悬臂梁法; 微构件; 弹性模量; MEMS; 纳米压入仪;
摘 要：对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得到其弹性模量为155 GPa±9.5%GPa,与参考文献值符合较好.表明在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量,只有综合这些影响因素后,才能获得有效、准确的弹性模量测量结果.
蒋庄德1，王海容1，杨树明1，赵则祥2，朱强1
(1.西安交通大学,机械制造系统工程国家重点实验室,陕西,西安,710049;
2.中原工学院,河南,郑州,450007)
摘要:对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得到其弹性模量为155 GPa±9.5%GPa,与参考文献值符合较好.表明在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量,只有综合这些影响因素后,才能获得有效、准确的弹性模量测量结果.
关键词:悬臂梁法; 微构件; 弹性模量; MEMS; 纳米压入仪;
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