基于生成氟硼酸钾的电感耦合等离子体原子发射光谱法测定多晶硅中硼

来源期刊：冶金分析2012年第8期

论文作者：黄艳芳 李核 郭长娟 陈红雨 钟梦婷

文章页码：51 - 54

关键词：多晶硅;电感耦合等离子体原子发射光谱法;氟化钾;硼;氟硼酸钾;

摘    要：为了快速简便地运用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）检测微量硼的含量,减少硼在消解过程中的损失,通过采用氢氟酸-硝酸消解样品,加入KF使硼生成的HBF4转化为一种非常稳定的化合物KBF4,再用ICP-AES测定试液中硼。探讨了氟化钾用量、挥发时间和温度等因素对测定的影响,并优化了实验参数。用本法测定多晶硅中的硼,其检出限为2.6pg/mL,样品测定结果的相对标准偏差在3.6%～6.9%之间,加标回收率为98%～102%。