纳米磁性颗粒膜
来源期刊:磁性材料及器件2001年第6期
论文作者:冯则坤 何华辉
关键词:纳米磁性颗粒膜; 溅射; 磁特性;
摘 要:介绍了从准微波波段到微波波段具有优良软磁特性的磁性纳米颗粒膜的制备工艺及理论分析.这种优质磁性纳米颗粒膜是将来微磁器件的基础,也将成为一种重要的新型抗EMI材料.
冯则坤1,何华辉1
(1.华中科技大学电子科学与技术系,)
摘要:介绍了从准微波波段到微波波段具有优良软磁特性的磁性纳米颗粒膜的制备工艺及理论分析.这种优质磁性纳米颗粒膜是将来微磁器件的基础,也将成为一种重要的新型抗EMI材料.
关键词:纳米磁性颗粒膜; 溅射; 磁特性;
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