简介概要

影响多孔硅孔隙率的因素

来源期刊：功能材料2000年第2期

论文作者：宋世庚陶明德贾振红江从春涂楚辙

关键词：多孔硅; 孔隙率; 影响;

摘要：研究了在制备多孔硅过程中影响其孔隙率的各种因素,给出了氢氟酸浓度、腐蚀时间、阳极腐蚀电流、温度及光照度与多孔硅孔隙率的关系,同时研究了多孔硅的晶格常数随其孔隙率变化的规律,并对以上各项结果作出了初步解释.

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宋世庚¹，陶明德¹，贾振红²，江从春²，涂楚辙³

(1.中国科学院新疆物理研究所,新疆,乌鲁木齐830011;
2.电子信息科学系,新疆,乌鲁木齐830046;
3.新疆大学物理系)

摘要:研究了在制备多孔硅过程中影响其孔隙率的各种因素,给出了氢氟酸浓度、腐蚀时间、阳极腐蚀电流、温度及光照度与多孔硅孔隙率的关系,同时研究了多孔硅的晶格常数随其孔隙率变化的规律,并对以上各项结果作出了初步解释.

关键词:多孔硅; 孔隙率; 影响;

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