Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响
来源期刊：金属功能材料2005年第3期
论文作者：赵晓昱 周勇 张亚民 陈吉安 高孝裕 周志敏 王明军
关键词：应力阻抗; FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB; 三明治薄膜; 弯曲型结构; 微细加工;
摘 要：基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右.
赵晓昱1，周勇2，张亚民2，陈吉安2，高孝裕2，周志敏2，王明军2
(1.上海工程技术大学汽车工程学院,上海,200336;
2.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)
摘要:基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右.
关键词:应力阻抗; FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB; 三明治薄膜; 弯曲型结构; 微细加工;
【全文内容正在添加中】
