AgOx薄膜的形貌、光谱以及激光烧蚀研究
来源期刊：功能材料2006年第1期
论文作者：秦连杰 王广东 贾玉光 徐惠忠 王卓
关键词：氧化银薄膜; 激光烧蚀; 半导体; 金属纳米粒子; silver oxide thin films; laser ablation; semiconductor; metal nanoparticles;
摘 要：制备了不同氧分压比的AgOx薄膜,对其进行了原子力(AFM)形貌观察,发现分压比0.4时,薄膜的粗糙度最小,均匀性也最好.光谱性质表明:随着分压比的增加,存在着金属向半导体的转变;经过热处理后的共振吸收峰和扫描电(SEM)表明了金属银粒子的析出.不同激光功率下的烧蚀实验表明:在激光照射下存在着两记录(烧蚀)形态,一种是银粒子散布在其间的气泡型;另一种是形成中间烧蚀孔,银粒子在孔附近密集的破裂气泡型.
秦连杰1，王广东1，贾玉光1，徐惠忠1，王卓2
(1.烟台大学,环境与材料工程学院,山东,烟台,264005;
2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100)
摘要:制备了不同氧分压比的AgOx薄膜,对其进行了原子力(AFM)形貌观察,发现分压比0.4时,薄膜的粗糙度最小,均匀性也最好.光谱性质表明:随着分压比的增加,存在着金属向半导体的转变;经过热处理后的共振吸收峰和扫描电(SEM)表明了金属银粒子的析出.不同激光功率下的烧蚀实验表明:在激光照射下存在着两记录(烧蚀)形态,一种是银粒子散布在其间的气泡型;另一种是形成中间烧蚀孔,银粒子在孔附近密集的破裂气泡型.
关键词:氧化银薄膜; 激光烧蚀; 半导体; 金属纳米粒子; silver oxide thin films; laser ablation; semiconductor; metal nanoparticles;
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