简介概要

电子束气相沉积的研究进展

来源期刊：钢铁钒钛2020年第4期

论文作者：赖奇李俊翰吴恩辉崔晏李亮廖先杰

文章页码：76 - 81

关键词：电子束气相沉积;镀膜;真空;

摘要：介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。

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赖奇，李俊翰，吴恩辉，崔晏，李亮，廖先杰

攀枝花学院钒钛学院

关键词：电子束气相沉积;镀膜;真空;