高功率微脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜及其腐蚀性能研究

孟树文¹，张斌²

1. 中核四0四有限公司2. 中国科学院兰州化学物理研究所材料磨损与防护国防创新重点实验室

摘 要：利用高功率微脉冲磁控溅射技术,在不锈钢表面制备了TiNx薄膜。所获得的TiNx薄膜光滑且致密,具有（220）晶体取向。通过电化学工作站在3.5% wt的NaCl和0.5mol/L的H₂SO₄溶液中测试了其耐腐蚀性能。结果表明,在上述溶液中,钢基底表面沉积TiNx薄膜后,其开路电位（OCP）均更正,腐蚀电流密度（Icorr）更低,表明TiNx薄膜可提高钢基底在NaCl和H₂SO₄溶液中的耐蚀性。

关键词：高功率微脉冲磁控溅射;TiNx;