多晶硅定向凝固过程中温度对凝固速率的影响

来源期刊：材料导报2019年第S1期

论文作者：杨金祥 石爽 姜大川 李旭 李鹏廷 谭毅 姚玉杰 池明 张润德 张建帅

文章页码：28 - 32

关键词：多晶硅;定向凝固;温度梯度;凝固速率;

摘    要：多晶硅定向凝固过程中,凝固速率是影响产品品质的重要参数,但却难以直接测量。本研究基于定向凝固过程中的热平衡关系,建立了凝固速率计算模型,研究了温度对凝固速率的影响。结果表明,凝固过程中液固相内温度梯度比值存在规律性的变化趋势,通过该模型获得的凝固速率理论值与实验测量结果吻合度较好,可以为多晶硅定向凝固过程中凝固速率的评估和调控提供支撑。