简介概要

硅外延及其应用

来源期刊：云南冶金2013年第3期

论文作者：徐远志胡亮吴忠元

文章页码：46 - 50

关键词：MBE;CVD;LPE;硅外延;应用;

摘要：介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。

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徐远志^1,2，胡亮²，吴忠元²

1. 昆明冶研新材料股份有限公司2. 昆明理工大学化学工程学院

摘要：介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。

关键词：MBE;CVD;LPE;硅外延;应用;