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提高CVD金刚石薄膜附着力的方法及其研究进展

来源期刊：材料导报2008年第3期

论文作者：王新昌靳慧智史新伟周秋霞姚宁

关键词：金刚石薄膜; 附着力; 预处理; 过渡层; 沉积条件;

摘要：概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展,详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响,总结出提高附着力的主要方法,并分析了金刚石薄膜的应用状况,指出了扩大金刚石薄膜应用的新方向及存在的主要问题.

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王新昌¹，靳慧智¹，史新伟¹，周秋霞¹，姚宁¹

(1.郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052)

摘要:概述了金刚石薄膜与衬底附着力研究的最新进展,详细讨论了衬底材料的性质、衬底预处理方法、过渡层、负偏压以及CVD沉积条件对金刚石薄膜附着力的影响,总结出提高附着力的主要方法,并分析了金刚石薄膜的应用状况,指出了扩大金刚石薄膜应用的新方向及存在的主要问题.

关键词:金刚石薄膜; 附着力; 预处理; 过渡层; 沉积条件;

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