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改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进

来源期刊：有色金属(冶炼部分)2013年第9期

论文作者：刘刚秦榕刘生章王舒娅

文章页码：56 - 59

关键词：多晶硅;西门子法;杂质;精馏;工艺;改进;

摘要：改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。

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刘刚¹，秦榕¹，刘生章¹，王舒娅²

1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司2. 中国科学院青海盐湖研究所

关键词：多晶硅;西门子法;杂质;精馏;工艺;改进;