微型Ni-W电沉积金刚石磨具的开发及其在硅切槽中的应用
来源期刊：超硬材料工程2007年第5期
论文作者：鬼鞍宏猷 蒋修治
文章页码：48 - 53
关键词：金刚石;微型磨具;Ni-W电沉积;硅;切槽;加工精度;磨具寿命;
摘 要：探讨了直径为100μm的微型Ni-W电沉积金刚石磨具的制作方法及其在硅切槽中的加工特性,以评价该磨具的加工性能和优化制作条件。在制作磨粒直径为2～4μm的磨具时,通过射流搅拌电沉积溶液可获得较为均匀的磨粒分布,从而减小了磨具寿命的差异。关于磨具状态和磨具寿命,试验得出了最佳电流密度。从磨具寿命的角度出发,对磨削速度和进给量进行了优化。
鬼鞍宏猷，蒋修治
摘 要：探讨了直径为100μm的微型Ni-W电沉积金刚石磨具的制作方法及其在硅切槽中的加工特性,以评价该磨具的加工性能和优化制作条件。在制作磨粒直径为2～4μm的磨具时,通过射流搅拌电沉积溶液可获得较为均匀的磨粒分布,从而减小了磨具寿命的差异。关于磨具状态和磨具寿命,试验得出了最佳电流密度。从磨具寿命的角度出发,对磨削速度和进给量进行了优化。
关键词：金刚石;微型磨具;Ni-W电沉积;硅;切槽;加工精度;磨具寿命;
