物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究进展
来源期刊:材料保护2001年第10期
论文作者:崔崑 胡树兵
关键词:TiN; 多元涂层; 多层涂层;
摘 要:综述了近年来物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究,并指出通过合理的多元和多层涂层设计,TiN多元涂层和多层涂层能克服单一TiN涂层的不足,综合不同组元和不同单层的优势,从而获得优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温性能,是今后物理气相沉积技术极有潜力的发展方向之一.
崔崑1,胡树兵1
(1.华中科技大学材料科学与工程学院,)
摘要:综述了近年来物理气相沉积TiN多元涂层和多层涂层的研究,并指出通过合理的多元和多层涂层设计,TiN多元涂层和多层涂层能克服单一TiN涂层的不足,综合不同组元和不同单层的优势,从而获得优良的结合强度、硬度、耐磨性和高温性能,是今后物理气相沉积技术极有潜力的发展方向之一.
关键词:TiN; 多元涂层; 多层涂层;
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