三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(Ⅲ)的合成及性质
来源期刊:贵金属2014年第S1期
论文作者:蔡宏中 吴霏 安盈志 常桥稳 胡昌义 刘伟平 陈力
文章页码:115 - 121
关键词:三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(Ⅲ);合成;结构特征;
摘 要:以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了β-二酮前驱体—三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(Ⅲ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。采用TG-DTA分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为,为MOCVD镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。
蔡宏中,吴霏,安盈志,常桥稳,胡昌义,刘伟平,陈力
昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
摘 要:以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了β-二酮前驱体—三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(Ⅲ)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。采用TG-DTA分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为,为MOCVD镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。
关键词:三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(Ⅲ);合成;结构特征;