TiAlBN多元膜的性能与组织结构研究
来源期刊：钛工业进展2004年第3期
论文作者：王国庆 谢致薇 匡同春 白晓军 胡社军 谢光荣 杨元政
关键词：多元膜; 氮化物; 电弧离子镀;
摘 要：采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构,结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴;双靶工作状态下,这些钛滴与膜之间的融合效果较好,膜层表面孔隙较少;薄膜具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.
王国庆1，谢致薇2，匡同春3，白晓军2，胡社军2，谢光荣2，杨元政2
(1.广东工业大学轻工化工学院,广东,广州,510080;
2.广东工业大学材料与能源学院,广东,广州,510643;
3.广东工业大学实验研究中心,广东,广州,510080)
摘要:采用电弧离子镀技术、TA5钛合金靶沉积TiAlBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构,结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在一些细小的钛滴;双靶工作状态下,这些钛滴与膜之间的融合效果较好,膜层表面孔隙较少;薄膜具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.
关键词:多元膜; 氮化物; 电弧离子镀;
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