碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征
来源期刊：功能材料2003年第1期
论文作者：张良莹 殷明志 姚熹
关键词：溶胶-凝胶工艺; TEOS; 多孔二氧化硅薄膜;
摘 要：以水为介质,NH3*H2O为催化剂,丙三醇(C3H5(OH)3和聚乙烯醇(PVA)为添加剂,正硅酸乙脂(TEOS)溶胶-凝胶工艺可制备纳米多孔二氧化硅薄膜.体系的H2)/TEOS＞15,TEOS的水解-聚合过程可通过添加剂效应,pH效应等控制.碱催化会使二氧化硅的溶解度增大,也能使二氧化硅胶粒带负电荷,抑制了二氧化硅胶粒之间的聚合长大,而丙三醇与TEOS的水解中间Si(OR)4-x(OH)x结合,抑制其与二氧化硅胶粒的聚合.聚乙烯醇(PVA)能使二氧化硅溶胶具有网状结构,使二氧化硅溶胶易于成膜.该工艺制备的多孔二氧化硅薄膜具有纳米多孔结构.其Vicker硬度在600～800N/mm2,热导率＜0.2w@m-1 K-1.
张良莹1，殷明志1，姚熹1
(1.西安交通大学,电子材料及器件研究所,陕西,西安,710049)
摘要:以水为介质,NH3*H2O为催化剂,丙三醇(C3H5(OH)3和聚乙烯醇(PVA)为添加剂,正硅酸乙脂(TEOS)溶胶-凝胶工艺可制备纳米多孔二氧化硅薄膜.体系的H2)/TEOS＞15,TEOS的水解-聚合过程可通过添加剂效应,pH效应等控制.碱催化会使二氧化硅的溶解度增大,也能使二氧化硅胶粒带负电荷,抑制了二氧化硅胶粒之间的聚合长大,而丙三醇与TEOS的水解中间Si(OR)4-x(OH)x结合,抑制其与二氧化硅胶粒的聚合.聚乙烯醇(PVA)能使二氧化硅溶胶具有网状结构,使二氧化硅溶胶易于成膜.该工艺制备的多孔二氧化硅薄膜具有纳米多孔结构.其Vicker硬度在600～800N/mm2,热导率＜0.2w@m-1 K-1.
关键词:溶胶-凝胶工艺; TEOS; 多孔二氧化硅薄膜;
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