富FeCo晶粒对非晶TbFeCo薄膜磁特性的影响
来源期刊:磁性材料及器件2009年第3期
论文作者:张宗芝 金庆原 马斌 顾培培
关键词:非晶TbFeCo薄膜; 富FeCo晶粒; 磁滞回线; 磁光克尔效应; 振动样品磁强计;
摘 要:用磁控溅射法分别在玻璃基底和硅片上沉积Tbx(Fe85Co15)100-x(x=24.7, 40.8, 厚~20nm)薄膜和Fe51Pt49(8 nm)/ Tbx(Fe85Co15) 100-x (~70 nm)双层薄膜,研究了非晶TbFeCo薄膜中富FeCo晶粒的存在对薄膜磁特性的影响.使用磁光克尔效应(MOKE)和振动样品磁强计(VSM)测量样品的磁滞回线,观察到单层TbFeCo薄膜及FePt/TbFeCo双层薄膜中由于富FeCo晶粒的存在导致的磁化反转相分离的特征,并通过测量FePt/TbFeCo双层薄膜的小回线进一步得到了分离后的磁化反转回线,证实了本文的解释.通过改变Tb靶的溅射功率,也观察到Tb含量不同的样品中都存在磁化反转相分离的特征.
张宗芝1,金庆原1,马斌1,顾培培1
(1.复旦大学,光科学与工程系,上海,200433)
摘要:用磁控溅射法分别在玻璃基底和硅片上沉积Tbx(Fe85Co15)100-x(x=24.7, 40.8, 厚~20nm)薄膜和Fe51Pt49(8 nm)/ Tbx(Fe85Co15) 100-x (~70 nm)双层薄膜,研究了非晶TbFeCo薄膜中富FeCo晶粒的存在对薄膜磁特性的影响.使用磁光克尔效应(MOKE)和振动样品磁强计(VSM)测量样品的磁滞回线,观察到单层TbFeCo薄膜及FePt/TbFeCo双层薄膜中由于富FeCo晶粒的存在导致的磁化反转相分离的特征,并通过测量FePt/TbFeCo双层薄膜的小回线进一步得到了分离后的磁化反转回线,证实了本文的解释.通过改变Tb靶的溅射功率,也观察到Tb含量不同的样品中都存在磁化反转相分离的特征.
关键词:非晶TbFeCo薄膜; 富FeCo晶粒; 磁滞回线; 磁光克尔效应; 振动样品磁强计;
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