塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究
来源期刊：材料导报2004年第11期
论文作者：陈建国 乔学亮 李世涛
关键词：ITO薄膜; 塑料基体; 低温;
摘 要：综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议.
陈建国1，乔学亮1，李世涛1
(1.华中科技大学国家模具技术重点实验室·表面实验室,武汉,430074)
摘要:综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议.
关键词:ITO薄膜; 塑料基体; 低温;
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