钛铝合金溅射镀膜靶材的研究进展
来源期刊：湖南有色金属2012年第1期
论文作者：陈希 黄蓉 邬晔
文章页码：51 - 53
关键词：钛铝合金;溅射靶材;制备方法;
摘 要：综述了钛铝合金靶材的制备技术及存在的问题。热等静压烧结法,成本较高,不适合广泛推广。热压烧结法工艺效率高,制备的靶材致密度好,成本较低,适合产业化生产。
陈希，黄蓉，邬晔
湖南稀土金属材料研究院
摘 要：综述了钛铝合金靶材的制备技术及存在的问题。热等静压烧结法,成本较高,不适合广泛推广。热压烧结法工艺效率高,制备的靶材致密度好,成本较低,适合产业化生产。
关键词：钛铝合金;溅射靶材;制备方法;
