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浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用

来源期刊：超硬材料工程2017年第4期

论文作者：曹艳芬宋庆军闫凯

文章页码：48 - 50

关键词：电镀金刚石线;切割;硅材料;应用现状;

摘要：电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。

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曹艳芬，宋庆军，闫凯

关键词：电镀金刚石线;切割;硅材料;应用现状;