碳杂质对直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响

来源期刊：材料科学与工程学报2018年第5期

论文作者：周军委 原帅 袁康 余学功 马向阳 杨德仁

文章页码：691 - 694

关键词：掺氮直拉硅单晶;氮氧复合体;浅热施主;碳杂质;

摘    要：本文研究了碳杂质对掺氮直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响。电阻率测试和低温傅里叶远红外吸收光谱研究表明:碳杂质显著降低了掺氮直拉硅单晶在650℃退火时所形成的氮氧复合体浅热施主浓度。此外,研究还发现碳杂质使掺氮直拉硅单晶在650℃退火时形成了碳氧复合体和更多的氧沉淀核心,由此消耗了更多的间隙氧原子。这一发现被认为是碳杂质抑制掺氮直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的主要原因。