基于复合处理技术CrN基固体自润滑复合膜的原位合成与摩擦学性能研究(英文)

来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第S2期

论文作者：蔡志海 杨臻 李奇 底月兰 张平

文章页码：504 - 507

关键词：CrN基;固体自润滑;复合膜;显微组织;摩擦学性能;

摘    要：采用磁控溅射与低温离子渗硫复合处理工艺原位制备了CrN基固体自润滑复合膜,采用X射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱仪（AES）、扫描电子显微镜（SEM）和能谱仪（EDS）等方法对复合膜的显微组织进行了分析,结果表明,CrN基固体自润滑复合膜中含有Cr、Mo、N、S元素,主要相结构为CrN和MoS2,及少量氧化物;S元素渗入深度约500 nm,分析结果表明Cr-Mo-N膜渗硫处理后,渗硫层中主要合成了MoS2润滑相,同时,通过比较不同封存试样方式,深入分析了渗硫层中氧元素的来源,并对CrN基固体自润滑复合膜的成膜机理进行了探讨。在室温油润滑条件下在CrN基固体自润滑复合膜的摩擦系数低于Cr-Mo-N膜,然后对CrN基固体自润滑复合膜的润滑机理进行了分析。