芯片实验室的制备技术
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第4期
论文作者：赵建龙 徐元森 周天 邹志青
关键词：芯片实验室; 微全分析系统; PCR芯片; 毛细管电泳芯片;
摘 要：阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等.
赵建龙1，徐元森1，周天1，邹志青1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)
摘要:阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等.
关键词:芯片实验室; 微全分析系统; PCR芯片; 毛细管电泳芯片;
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