简介概要

扫描电子显微镜和原子力显微镜--表面观察的互补技术

来源期刊：矿冶2004年第3期

论文作者：孙珊隋娟玲

关键词：扫描电子显微镜; 原子力显微镜; 表面观察;

摘要：对于高分辨率表面观察,人们通常利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),特别是当分辨率在纳米和原子范围时,SEM和AFM是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术.然而,任何一种仪器都不是万能的.本文就材料的表面结构、成分和环境对两种技术进行比较,并描述它们各自独立的特点和互补性.

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孙珊¹，隋娟玲¹

(1.北京矿冶研究总院,北京,100044)

摘要:对于高分辨率表面观察,人们通常利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),特别是当分辨率在纳米和原子范围时,SEM和AFM是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术.然而,任何一种仪器都不是万能的.本文就材料的表面结构、成分和环境对两种技术进行比较,并描述它们各自独立的特点和互补性.

关键词:扫描电子显微镜; 原子力显微镜; 表面观察;

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