Al化衬底对MOCVD生长AlN的影响

来源期刊：兵器材料科学与工程2017年第5期

论文作者：贾辉 崔烨 石璐珊 周玉宏 欧元锦

文章页码：15 - 19

关键词：衬底处理;Al N;晶体质量;应变;

摘    要：采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石衬底上高温外延生长高温Al N外延层,着重研究Al化蓝宝石衬底的时间对样品的结构、形貌和面内应变等产生的影响。采用原位监测系统监测外延生长过程、扫描电子显微镜(SEM)表征样品的表面形貌、X线衍射(XRD)分析样品的晶体质量与残余应变。结果表明:适当的Al化衬底可以使高温Al N外延层表面更加平整,面内应变得到部分释放,但是Al化衬底会引起外延层的结晶质量变差。